Neocera 激光分子束外延（Laser MBE）LMBE-产品中心-纳米压痕-激光分子束外延-脉冲激光沉积-阴极发光-阴极荧光-原子层沉积-ald设备-分子互作仪-北京正通远恒科技有限公司

激光分子束外延（Laser MBE）

激光 MBE 是普遍采用的术语，该法是一种纳米尺度薄膜合成的理想方法，高真空下的 PLD 与在线工艺监测的反射高能电

子衍射（RHEED）的联合应用，为用户提供了类似于 MBE 的薄膜生长的单分子水平控制。

• 高压 RHEED 用于原位薄膜生长控制。

• 提供原子级薄膜生长控制 / 生长模式控制。（例如：通过 RHEED 振荡实现的 2D 生长模式）。

• RHEED 是一种衍射技术。从屏上产生的衍射图样中，可以实时地破译结构信息。

• 厚度和沉积速率信息。

• 薄膜衬底界面的应力 / 其它结构缺陷、第二相均可检测。

• 这些信息对于各种纳米结构的高质量外延薄膜生长至关重要。

技术参数

• 最大束流电压：30 KeV。

• 两组磁线圈，用于衬底平面内和垂直于衬底平面的束流运动。

• 双差动泵（氧气的兼容性高达 500 mTorr ）。

• 配有光阀的凹形 RHEED 屏。

• 12 位 CCD 相机。

• K-space 数据采集和软件。

• 与 PLD 系统完全集成。

参考文献

1. Ariando, Wang X, Baskaran G, et al. Electronic phase separation at the LaAlO3/SrTiO3 interface[J]. Nature Communications,

2011, 2(1):188.

DOI：10.1038/ncomms1192

（使用设备型号：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

2. Palgrave R G, Borisov P, Dyer M S, et al. Artificial Construction of the Layered Ruddlesden-Popper Manganite La2Sr2Mn3O10 by Reflection High Energy Electron Diffraction Monitored Pulsed Laser Deposition[J]. Journal of the American Chemical Society,

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DOI：10.1021/ja211138x

（使用设备型号：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

1. Lvkang Shen, Liang Wu, Quan Sheng, Chunrui Ma,* Yong Zhang, Lu Lu, Ji Ma, Jihong Bian, Yaodong Yang, Aiping Chen, Xiaoli Lu, Ming Liu,* Hong Wang, Chun-Lin Jia. "Epitaxial lift-off of centimeter-scaled spinel ferrite oxide thin films for flexible electronics". Advanced Materials, DOI: 10.1002/adma.201702411, 2017.（西南交通大学使用设备型号：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

2. Yong Zhang, Lvkang Shen, Ming Liu,* Xin Li, Xiaoli Lu,* Lu Lu, Chunrui Ma, Caiyin You, Aiping Chen, Chuanwei Huang, Lang Chen, Marin Alexe, Chun-Lin Jia. "Flexible Quasi-Two-Dimensional CoFe₂O₄ Epitaxial Thin Films for Continuous Strain Tuning of Magnetic Properties". ACS Nano, DOI: 10.1021/acsnano.7b02637, 2017.（西南交通大学使用设备型号：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

3. Lvkang Shen, Chunrui Ma,* Shaodong Cheng, Shengping Ren, Sheng Cheng, Shao-Bo Mi, Ming Liu. "Enhanced Magnetic Properties in Epitaxial Self-Assembled Vertically Aligned Nanocomposite (Pr_0.5Ba_0.5MnO₃)_0.5:(CeO₂)_0.5Thin Films". Journal of Materials Chemistry C, 4: 10955-10961, 2016.（西南交通大学使用设备型号：Pioneer 180 Laser MBE / PLD System）

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