名称：Säntis 300 全晶圆定量阴极发光CL-SEM系统

品牌：Attolight

型号：Säntis 300

Attolight定量CL-SEM系统提供 “不折不扣”大视场快速扫描的同时获取SEM图像、高光谱CL图像和光学光谱。较小直径的晶圆，或形状混杂的衬底被手动加载到300mm的中间感受器上，然后仪器自动处理。

Santis 300全晶圆工业CL-SEM系统是全晶圆阴极发光显微镜，可以完全自动化控制150、200和300毫米晶圆。

1、控制可以达到300毫米的晶圆
2、高效的CL-SEM扫描成像效率
3、同时进行电镜成像和光学信号采集
4、边缘检测，晶圆准确定位(优于10µm)
5、对晶圆翘曲度自动映射和调整
6、Säntis 300系统提供3种不同的采集模式，为不同的需求和应用量身定制:
a、 面扫描模式（FWBrush模式）
b、线扫描模式（AWPix模式）
c、多点扫描模式

一、工业市场应用：

1、GaN 及其应用: 高强度LED要求高发射效率和高可靠性。以汽 车应用为例，LED故障影响安全，危及人身安全；UVC LED 要求高的发射效率和高的发射均匀 性；LED故障会使人的生命处于危险之中，例如在灭菌和消毒应用中。
2、光子学：激光光子学
3、电力电子应用 GaN：电力电子应用需要更大的功率、更小和更轻 的包装，例如物联网或汽车应
4、II-VI族材料：GaAs 及其应用: 太阳能, 电力电子；电力电子SiC ；µLED
二、其他应用举例：
1、微观结构发光二极管(MicroLed)
2、LED质量控制
3、GaN中的螺纹位错缺陷计数
4、碳化硅衬底质量控制