电话  010-64415767 | 010-64448295

首页>产品中心

原子层沉积系统(ALD P-1000 Pro )

作者:阅读量: 分享到:
  • 产品信息
  • 技术指标
  • 应用领域
  • 索取报价
名称:原子层沉积系统
品牌:PICOSUN
产地:芬兰
型号:PICOSUN™ ALD ALD  P-1000 Pro
PICOSUN™ P系列量产ALD系统定义了高产量ALD的新时代。我们全自动化、真空集群与产线兼容的P系列ALD确保了最大的产出效率,并且具有世界级的工艺纯度和薄膜均匀性,甚至能完全满足具有最严格要求的半导体行业标准。PICOSUN™ P系列ALD高效紧凑的设计节约了昂贵的场地成本,系统的易维护性减少了停工期。ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品,可以覆盖最细小的地方,最难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里,实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上,例如金属,玻璃,塑料,乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术,ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上,例如聚合物薄膜。
衬底尺寸和类型 156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背)
高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背)
大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品
工艺温度 50 - 500 °C
基片传送选件 气动升降(手动装载,带叉车forklift cart)
全自动转载,用工业机器人实现
前驱体 液态、固态、气态、臭氧源
前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
8根独立源管线,最多加载12个前驱体源
重量 2000 kg
尺寸(W x H x D)
230 cm x 270 cm x 125 cm
选件 PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
验收标准 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺

Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色,防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域,ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。
ALD工业领域及应用
产品 ALD应用
医疗植入(牙科,连接技术)
手术固定器
植物活性层, 用来提高骨融
合,生物兼容的包覆层
植入医疗器件
(心脏起搏器,耳蜗植入)
生物兼容包覆层
收藏性硬币 防着色涂层
钟表部件 防着色层或装饰层
珠宝 防着色层或装饰层
PCB 防锡晶须及腐蚀
如果您觉得这个产品适合您,请给我们留言,我们会第一时间与您联系!
姓名:
电话:
邮箱:
公司名称:
留言:
*
北京正通远恒科技有限公司      地址:北京市朝阳区胜古中路2号院7号楼A座611室      邮编:100029       京ICP备12001926号-1
Designed by Wanhu