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162017-051.气路要求 1.1连接和管路 1.2气体规格 2.连接泵的气体管路和尾气要求 2.1反应腔（连接腔体和泵） 2.2反应柜接出 2.3电控柜接出 2.4气柜接出2.5真空泵接出 2.6臭氧燃烧接出&n...
272017-04 1、电源（客户提供） 单相 220VAC 50/60Hz 10A；备有两个 10A 多功能电源插座。壹根普通的电脑电源线（厂家原配的是欧式的）。 2、工作台（客户提供） 尺寸：长 100 cm ×宽 80cm 或以上，高度以操作人员合适为宜； 工作台承...