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  • PICOSUN™ALD - 微机电系统MEMS

    092017-06 PICOSUN 领先的ALD产品结构设计使得在最具挑战性的3D纳米结构如超高深宽比沟槽、孔隙、阶梯结构、和典型的MEMS器件结构—通孔,都可以沉积高均匀性、高保形性薄膜。超薄纳米叠层可通过ALD工艺精确数字控制与重复—这是...

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